广东省半导体产业技术研究院是广东省科学院下属的18个骨干研究院所之一。广东省科学院是在广东省委省政府为落实中央创新驱动发展战略、基于已有科研力量新组建的高端枢纽型研发平台，是广东省政府直属事业单位，具有较雄厚的技术研发能力和较成熟的科研成果转化配套政策，拥有国家级科研创新与服务平台14个、省部级科研创新与服务平台86个。广东省半导体产业技术研究院拥有较完善先进的第三代半导体技术研发平台，设备价值逾亿元；是中国有色金属学会宽禁带半导体专业委员会挂靠单位。