苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司苏州微纳制造MEMS中试平台,专注于6英寸微纳机电制造(MEMS)专业研发与代工的平台企业。公司开展包括
MEMS研发,模型,制造,IP授权,技术咨询以及部分的测试封装服务。
平台得到国家工信部、江苏省科技厅、苏州工业园区管委会、中科院苏州纳米所等单位的大
力支持,隶属于苏州纳米科技发展有限公司(全国资)旗下全资子公司。
总共启动1.8万平米基础设施建设,工艺场地设计为6英寸、8英寸同时兼容,目前投入使用
6英寸主要场地1850平方米(十级与百级洁净等级),公共超净出租场地3400平方米。
通过MEMS工艺与产品研发,打造中国中试代工的品牌,引领MEMS产业资源的聚集和聚
合发展。