上海芯刻微材料技术有限责任公司是上海新阳（300326）的子公司，致力于高端光刻胶产品及配套试剂的研发和产业化，打破国外垄断，为IC制造行业提供质优价平的光刻材料解决方案。上海芯刻微成立于2018年5月，注册资本1.5亿人民币，项目总投资2亿人民币。上海芯刻微具备独立的研发生产基地，且配有1000 class clean room 即将装备ASML Scanner & Track 用于光阻测试依靠新阳实验研发平台,拥有多种分析检测设备,并新增多种先进的材料分析检测设备。公司从事光刻胶研发、生产、销售等相关业务。拥有稳定的国内外光刻胶单体及树脂供应商，可提供稳定的光酸，表面活性剂等，以上保证原材 料的稳定；品质保证方面，与PALL，Entegris建立稳定供货协议等，形成稳定的质量保证体系。公司立项研发光刻胶，先后引进技术团队，不但拥有开发G 线、 I 线、 KrF（氟化氪）以及ArF（氟化氩）等光刻胶及相关关键材料的丰富经验， 而且拥有光刻胶树脂及各种光引发剂的开发设计及应用经验。项目团队对光刻胶及原材料的研发体系具有良好的基础，目前所开发的ArF和KrF光刻胶样品均取得了理想的曝光结果。芯刻微会进一步加强自己的研发实力，把研发方向拓展到I-line胶、KrF胶、Spin-On Carbon等多种类的光刻胶及配套试剂。依托上海新阳的资金、品牌和资源优势，上海芯刻微决心打造成为国内领先的高端光刻材料供应商。